- 620137, г. Екатеринбург, Сибирский тракт, д. 1, стр. 8б, оф. 436
Гидроцилиндр парковки затравки М5 — это прецизионный гидроцилиндр, предназначенный для точного отвода, перемещения и фиксации в парковочном (нерабочем) положении узла затравки (стартового кристалла) на оборудовании для выращивания монокристаллов (установках Чохральского, Бриджмена и др.). Модель М5 обозначает типоразмер и исполнение в рамках технологической линии, обеспечивающее надежное и плавное перемещение критически важного элемента вне зоны кристаллизации.
| Параметр | Значение / Описание |
|---|---|
| Тип изделия | Гидроцилиндр для парковки/отвода затравки, как правило, одностороннего или двустороннего действия с точным позиционированием. |
| Обозначение | М5 — марка или типоразмер в серии парковочных гидроцилиндров для кристаллизационного оборудования. Обозначает размерный ряд, ход и тип конструкции, адаптированный под конкретную модель установки. |
| Основное назначение | Безопасное и точное перемещение узла затравки (seed holder) между двумя позициями: 1. Рабочая позиция: В зоне выращивания, где затравка контактирует с расплавом. 2. Парковочная (отведенная) позиция: За пределами горячей зоны печи — для загрузки/разгрузки затравки, профилактики, охлаждения или аварийного отвода. |
| Технологическая роль | • Обеспечение безопасности: Исключение случайного контакта затравки с горячими элементами вне технологического цикла. • Упрощение обслуживания: Легкий доступ к затравке для замены или инспекции. • Защита узла: Отвод из зоны высоких температур для продления ресурса. • Аварийная функция: Быстрый отвод затравки при сбое процесса. |
| Тип действия и конструктивные особенности | • Чаще двустороннего действия — для полного контроля за движением «к себе/от себя». • Умеренный ход (от 100 до 500 мм), достаточный для полного вывода узла из рабочей зоны. • Высокая повторяемость позиционирования в крайних точках. • Конструкция, минимизирующая люфты и вибрации. • Исполнение для работы в условиях повышенных температур (термоэкран, жаростойкие уплотнения или сильфон). • Возможность ручного дублирования (например, червячный редуктор) на случай отключения питания. |
| Ключевые параметры (ориентировочные для марки М5) | |
| Усилие перемещения | Небольшое, но достаточное: от 200 до 1000 Н (20 – 100 кгс). Основная задача — преодолеть вес узла затравки и трение в направляющих, а не создавать большое силовое воздействие. |
| Рабочий ход штока | Определяется конструкцией печи: от 150 до 400 мм. |
| Скорость перемещения | Плавная, регулируемая: 5 – 50 мм/с. Важна плавность старта и остановки. |
| Номинальное рабочее давление | 63 – 100 бар (6.3 – 10 МПа) — система среднего давления. |
| Точность фиксации в парковочном положении | Высокая: ±0.1 – 0.5 мм, обеспечивается механическими упорами или точной гидравлической остановкой. |
| Способ управления | • Автоматическое от главного контроллера установки (ПЛК) по программе технологического цикла. • Ручное с локального пульта для обслуживания. • Аварийный отвод по сигналу датчиков температуры или вакуума. |
| Материалы исполнения | • Корпус, шток: Нержавеющая сталь AISI 304, 316 (чистота, стойкость к окислению). • Уплотнения: Высокотемпературные FKM (Viton) или, что предпочтительнее для вакуумных установок, сильфонное уплотнение (bellows seal) для абсолютной герметичности и исключения испарений масла в камеру. • Крепления: Фланцевые, для монтажа на вакуумный фланец или корпус установки. |
| Рабочая среда и условия | • Гидравлическая жидкость: Специальные высокотемпературные/вакуумные масла или инертные жидкости. • Внешняя среда: Работа в условиях вакуума или контролируемой инертной атмосферы (Ar, N₂) внутри кристаллизационной камеры. Критическое требование — герметичность. • Температура в зоне установки: Повышенная (до +80…+120°C от тепла печи). |
| Система контроля | • Концевые выключатели (механические, индуктивные) для определения крайних положений «Парковка» и «Рабочая позиция». • Датчик положения (потенциометрический или LVDT) для индикации промежуточного состояния. • Сигнальные лампы на пульте. |
| Тип крепления и кинематика | • Цилиндр устанавливается снаружи вакуумной камеры. • Шток через герметичный ввод соединяется с траверсой или кареткой, несущей узел затравки внутри камеры. • Часто работает в паре с линейными направляющими для точного прямолинейного перемещения узла. |
Заполните форму обратной связи, чтобы получить полный прайс-лист на нашу продукцию.
Наш менеджер свяжется с Вами в ближайшее время!
